دانلود مقاله ترجمه شده مشخصات راه اندازی الکتروستاتیک دیافراگم سیلیکونی برای طراحی میکروپمپ MEMS

چکیده

روش تحریک الکتروستاتیکی به صورت متداولی برای مکانیسم میکروپمپ MEMS که شامل میکروساختار دیافراگم و الکترود موازی می باشد استفاده می شود. این کار در مورد طراحی و شبیه سازی دیافراگم های سیلیکونی مربعی و مشخصات آن برای کاربرد میکروپمپ با گستره منبع تغذیه 0- 20 ولت بحث می کند. مشخص سازی این دیافراگم ها بر اساس اندازه گیری پارامترهایی مانند جابجایی دیافراگم به عنوان تابعی از ولتاژ اعمال شده و توزیع فشار می باشد. شبیه سازی ها با استفاده از CoventorWare2007 انجام شدند. نتایج نشان می دهند که شبیه سازی از مقدار نظری در گستره ی حدود 15% منحرف می شود. جابجایی دیافراگم متناسب با  هندسه فیزیکی دیافراگم می باشد. ولتاز راه اندازی مقدار محدودیت عملکرد میکروپمپ را تعیین می کند.

1-مقدمه

تکنولوژی MEMS را می توان به صورت تلفیق المان های مکانیکی، حسگرها، محرک ها و اجزای الکترونیکی روی یک زیرلایه سیلیکونی و از طریق تکنولوژی میکرو ساخت تعریف کرد. دیافراگم به خاطر حجم جابجایی موثر، نقش مهمی در محرک های MEMS ایفا می کند و خمش در ناحیه بزرگی را عرضه می کند و ساخت آن با استفاده از تکنیک های فوتولیتوگرافی ساده است. دیافراگم را می توان به صورت کنترل شده و با استفاده از تکنیک های مختلف transducer مانند الکتروستاتیکی [1]، الکترومغناطیسی [2]، پیزوالکتریکی [3] و تحریک گرما نوماتیکی [4] منحرف کرد...